特許
J-GLOBAL ID：200903091496237979
スピンバルブ磁気抵抗センサ及び薄膜磁気ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055595
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251225
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 熱処理後も強磁性材料のピン磁性層との間で高い交換結合磁場を発揮し、磁気へッドのバイアス磁場によるピン磁性層の磁化の回転を有効に抑制し、高いMR出力が得られる反強磁性層を備えたスピンバルブ構造の磁気抵抗センサを提供する。【解決手段】 基板上に非磁性導電層5を挟んで配置されたフリー磁性層4及びピン磁性層6と、ピン磁性層に隣接する反強磁性層7とを積層した磁気抵抗効果膜3を備えるスピンバルブ磁気抵抗センサにおいて、PtMn合金にCrを2at%〜10at%の範囲で添加し、かつMnを45〜55at%の範囲、残部をPtとするPtMnCr合金で反強磁性層を形成し、真空磁場中で250°C〜300°Cの温度で熱処理を行う。
請求項（抜粋）：
基板上に非磁性導電層を挟んで配置された1対の磁性層と、一方の前記磁性層に隣接する反強磁性層とを積層した磁気抵抗効果膜を備えるスピンバルブ磁気抵抗センサであって、前記反強磁性層がPt-Mn-Cr合金からなり、その膜組成がMnを45〜55at%、Crを2〜10at%、かつ残部をPtとし、規則化のために熱処理されていることを特徴とするスピンバルブ磁気抵抗センサ。
Fターム (2件)：
前のページに戻る
