加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-333445
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166405
出願日： 1994年12月15日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】固定電極と可動電極のうち、一方の面積を小さくし、垂直方向の変位による有効面積の変化をなくし、加速度の高精度検出を行なう。【構成】ガラス基板2上に低抵抗なシリコンからなる各固定部3,可動部12を設け、各固定部3に固定電極3Aを一体形成すると共に、可動部12を支持部13,梁14,質量部15および可動電極15A,15Aから大略構成する。また、可動電極15Aの高さ寸法H1 を固定電極3Aの高さ寸法H0 よりも小さく形成する。これにより、質量部15に垂直方向の加速度が加わっても、可動電極15Aと固定電極3Aとの有効面積は変化せず、電極15A,3A間の微小隙間のみを静電容量として検出し、矢示A方向の加速度を検出できる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、該絶縁基板上に設けられ、シリコン板をエッチング処理することにより互いに分離して形成された固定部と可動部を備え、前記固定部には固定電極を一体に形成し、前記可動部は、絶縁基板上に固着された支持部と、梁を介して該支持部と連結され、加速度が作用したときに該加速度に応じて固定部との間で近接,離間するように変位する質量部と、該質量部に前記固定電極との間で隙間を介して対向するように設けられた可動電極とから一体形成してなり、前記質量部の変位に対応する前記固定電極と可動電極との間の静電容量を加速度として検出する加速度センサにおいて、前記固定電極と可動電極のうちいずれか一方の面積が他方の面積よりも小さくなるように形成したことを特徴とする加速度センサ。

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