半導体装置および内部電源線の電圧のモニタ方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-114557
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281044
出願日： 2004年04月08日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】内部電源線に直接プロービングせずにその電位をモニタする。【解決手段】信号または所定の電位を受ける外部ピンEPと内部電源線L2との間にモニタ回路110が接続される。モニタ回路110は、NチャネルMOSトランジスタQN1〜QN3を含む。トランジスタQN1〜QN3は外部ピンEPと内部電源線L2との間に直列に接続される。トランジスタQN1〜QN3のしきい値電圧をVthとする。まず、外部電源電圧を受ける電源ピンと接地電位を受ける接地ピンとの間に流れるスタンドバイ電流を測定する。そして、電源ピンと接地ピンとの間を流れる電流をモニタしながら、外部ピンEPの電位を徐々に上昇させる。電源ピンと接地ピンとの間に流れる電流が上昇し始めたときの外部ピンEPの電位をVEXTとすると、内部電源線L2の電位VINTは、式:VINT=VEXT-3・Vthから算出される。【選択図】図29

請求項（抜粋）：

内部電源電圧が与えられる内部電源線と、外部ピンと、前記外部ピンと前記内部電源線との間で電気的経路を形成する電圧伝達手段とを備えた半導体装置において前記内部電源線の電圧をモニタする方法であって、前記外部ピンに与える電圧を変化させ、前記外部電源電圧と固定電圧との間に流れるスタンドバイ電流を検知し、前記スタンドバイ電流が上昇しはじめる際の前記外部ピンの電圧に基づいて前記内部電源電圧を測定する、内部電源線の電圧のモニタ方法。

IPC (7件)：

G11C11/407 , G01R31/28 , G01R31/319 , G11C11/401 , G11C29/00 , H01L21/822 , H01L27/04

FI (8件)：

G11C11/34 354F , G11C29/00 651Z , G11C11/34 371A , G01R31/28 B , G01R31/28 V , H01L27/04 T , H01L27/04 B , G01R31/28 R

Fターム (30件)：

2G132AA08 , 2G132AB00 , 2G132AB04 , 2G132AD01 , 2G132AK07 , 2G132AL00 , 2G132AL05 , 5F038BB02 , 5F038BB04 , 5F038BB08 , 5F038CD02 , 5F038CD16 , 5F038DF05 , 5F038DF08 , 5F038DT02 , 5F038DT04 , 5F038DT10 , 5F038DT12 , 5F038EZ20 , 5L106AA01 , 5L106DD31 , 5L106EE08 , 5M024BB30 , 5M024FF02 , 5M024FF23 , 5M024MM10 , 5M024PP01 , 5M024PP02 , 5M024PP03 , 5M024PP07

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-046575
特開平2-162756
特開平4-022000

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