特許

J-GLOBAL ID：200903091514839183

接続検査方法及び接続検査装置

発明者： 五十嵐 修三
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 穂坂 和雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-136881
公開番号（公開出願番号）：特開2001-319951
出願日： 2000年05月10日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】【課題】本発明ははんだボール,ランド間の接続状態を該はんだボール側からX線を放射することにより検査する接続検査方法及び接続検査装置に関し,X線の透過画像を用いてはんだ等の接続状態を正確に判定することを目的とする。【解決手段】X線を放射するX線発生部の放射面を該ランドのはんだボールとの接触面に対して水平とし,放射された該X線を検出するX線検出部の検出面を前記ランドのはんだボールとの接触面に対して所定角度傾けて接続検査を行うよう構成する。

請求項（抜粋）：

はんだボール,ランド間の接続状態を該はんだボール側からX線を放射することにより検査する接続検査方法において,X線を放射するX線発生部の放射面を該ランドのはんだボールとの接触面に対して水平とし,放射された該X線を検出するX線検出部の検出面を前記ランドのはんだボールとの接触面に対して所定角度傾けて接続検査を行う,ことを特徴とする接続検査方法。

IPC (4件)：

H01L 21/60 321 ,  G01B 15/00 ,  G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512

FI (4件)：

H01L 21/60 321 Y ,  G01B 15/00 A ,  G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512 B

Fターム (40件)：

2F067AA65 ,  2F067BB07 ,  2F067CC14 ,  2F067DD03 ,  2F067DD05 ,  2F067EE04 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK06 ,  2F067LL02 ,  2F067PP05 ,  2F067PP12 ,  2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001GA05 ,  2G001GA13 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA06 ,  2G001JA08 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  5E319AA03 ,  5E319AB05 ,  5E319AC02 ,  5E319AC16 ,  5E319BB04 ,  5E319CC33 ,  5E319CD29 ,  5E319CD53 ,  5E319GG15 ,  5F044KK01 ,  5F044LL01 ,  5F044QQ01