光式変位センサ、光式厚さセンサ、変位検出方法及び厚さ検出方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本宜喜 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-001275
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197212
出願日： 1997年01月08日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】光式変位センサにおいて透明物体の表面までの変位及びその厚みを測定できるようにすること。【解決手段】投光素子2を光源駆動回路1により駆動し、測定対象物に投光ビームを照射する。反射光をCCDラインセンサ20によって受光する。信号処理部30のマイクロコンピュータ31により受光レベルのピーク位置を算出する。そしてピーク位置から透明物体の表面までの変位又は距離を算出するようにしている。

請求項（抜粋）：

投光素子を有し、投光ビームを被測定対象物に対して斜め方向に照射する投光部と、被測定対象物までの距離に対応して受光位置が変化するCCDイメージセンサを有し、投光ビームに対する測定対象物からの反射光を受光する受光部と、前記CCDイメージセンサ上の受光分布のピーク位置から前記測定対象物の表面に対応する受光位置を識別する信号処理部と、を具備することを特徴とする光式変位センサ。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01B 11/06

FI (2件)：

G01B 11/00 B , G01B 11/06 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

特公昭35-011089
特公昭35-011089
特開昭62-218802

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