石英ルツボの内面透明層形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-085211
公開番号（公開出願番号）：特開2004-292211
出願日： 2003年03月26日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】石英ルツボの内面に透明層を形成する技術であって、シリコン単結晶の単結晶歩留まりを向上させる石英ルツボを安価につくる。【解決手段】石英ルツボ熔融時に最初に石英粉の内表面を焼結し、嵩比重が1.7から1.8にする。次に熔融温度を急激に上昇させることで石英ルツボの内面に透明層を作る。また、嵩比重を1.7から1.8にするときにアルゴンガスを流すと焼結層の厚みが厚くなり、透明層も厚くすることが出来る。また急激に温度を上げるときに水素ガスを流すことで透明層中の気泡を小さくし、膨張しないようにすることが出来る。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

石英ルツボ熔融時に最初表面を焼結し、嵩比重が1.7から1.8になったときに、熔融温度を急激に上昇させることを特徴とする石英ルツボの内面に透明層を作る方法。

IPC (3件)：

C03B20/00 , C30B15/10 , C30B29/06

FI (3件)：

C03B20/00 H , C30B15/10 , C30B29/06 502B

Fターム (7件)：

4G014AH00 , 4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077HA12 , 4G077PD01

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