特許

J-GLOBAL ID：200903091531710747

故障解析装置

発明者： 木梨 潤也 ,  木俣 守也 ,  神山 裕 ,  紫藤 真人
出願人/特許権者： 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-356619
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174523
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 同一テストパターンを入力しても動作が安定しないDUTに対して精度の高い故障解析を可能とする。【解決手段】 集積回路のデバイス・アンダー・テスト(DUT)情報1からDUT部分情報12を抽出する検出部5と、DUT情報1が得られた際の集積回路の状態を示す状態情報2を所定の分類条件3に基づいて分類し分類情報11を出力する分類制御部6と、分類情報11に基づいてDUT部分情報12を分類する分類部7と、分類情報11に基づいて分類されたDUT部分情報12を分類情報11毎に平均化し、かつDUT部分情報12を取得したタイミングに基づいてDUT部分情報12の順序を並び替えることにより、DUT測定結果を構築する構築部8を有する。

請求項（抜粋）：

集積回路の故障解析装置であって、前記集積回路のデバイス・アンダー・テスト(DUT)情報からDUT部分情報を抽出する検出部と、前記DUT情報が得られた際の前記集積回路の状態を示す状態情報を所定の分類条件に基づいて分類し分類情報を出力する分類制御部と、前記分類情報に基づいて前記DUT部分情報を分類する分類部と、前記分類情報に基づいて分類された前記DUT部分情報を前記分類情報毎に平均化し、かつ前記DUT部分情報を取得したタイミングに基づいて前記DUT部分情報の順序を並び替えることにより、DUT測定結果を構築する構築部を有することを特徴とする故障解析装置。

IPC (3件)：

G01R 31/302 ,  G01R 1/06 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/06 F ,  H01L 21/66 C ,  G01R 31/28 L

Fターム (24件)：

2G011AA01 ,  2G011AD02 ,  2G011AE01 ,  2G032AB20 ,  2G032AE08 ,  2G032AE09 ,  2G032AE10 ,  2G032AF08 ,  2G032AG02 ,  4M106AA04 ,  4M106AA08 ,  4M106AC09 ,  4M106BA02 ,  4M106CA02 ,  4M106CA08 ,  4M106CA70 ,  4M106DE01 ,  4M106DE20 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ40