特許

J-GLOBAL ID：200903091534421592

ベーパー洗浄装置

発明者： 丹保 仁志 ,  青柳 勉
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-070070
公開番号（公開出願番号）：特開平6-283492
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【構成】 混合ベーパー50の凝縮温度以下にチャンバー10を冷却するチラー15、冷媒供給管15a、冷媒通路13、冷媒排出管15b、断熱板16a、16bより成る冷却手段17がチャンバー10の外周に配設されているベーパー洗浄装置。【効果】 チャンバー10を混合ベーパー50の凝縮温度以下の所定温度に安定的、かつ均一的に冷却することができ、そのため安定的、かつ面内均一的に、ウエハ44表面を凝縮温度に冷却することができ、ウエハ44表面に到達した混合ベーパー50をウエハ44表面で均一的に凝縮させることができ、ウエハ44表面に形成された酸化膜を凝縮されたHFと均一的に反応させてエッチング除去することができる。

請求項（抜粋）：

試料台が配設されたチャンバーに薬液と溶媒との混合ベーパーを噴出させるノズルを備え、該ノズルに薬液タンク及び溶媒タンクがそれぞれ供給管を介して接続されたベーパー洗浄装置において、前記混合ベーパーの凝縮温度以下に前記チャンバーを冷却する冷却手段が前記チャンバー外周に配設されていることを特徴とするベーパー洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/08 ,  H01L 21/306

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-170296
  
• 特開昭58-133296