特許
J-GLOBAL ID:200903091545185491

ブラックマトリックス用ポジ型レジスト組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 久保山 隆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-018611
公開番号(公開出願番号):特開平6-230215
出願日: 1993年02月05日
公開日(公表日): 1994年08月19日
要約:
【要約】【目的】 微細度等の諸性能に優れたブラックマトリックス用ポジ型レジスト組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド化合物、黒色顔料及び溶剤を含むことを特徴とするブラックマトリックス用ポジ型レジスト組成物。
請求項(抜粋):
アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド化合物、黒色顔料及び溶剤を含むことを特徴とするブラックマトリックス用ポジ型レジスト組成物。
IPC (4件):
G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/023 501 ,  G03F 7/023 511
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平4-343744

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