特許

J-GLOBAL ID：200903091550942748

研磨材の回収装置

発明者： 松本 章 ,  埜村 誠
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-006758
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198823
出願日： 2000年01月14日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】【課題】 研磨工程排水から研磨材を回収するに当たり、溶解性の不純物や微細な研磨屑等を洗浄除去するために必要とされる洗浄水量を大幅に低減して、洗浄水貯槽やスラリ貯槽を小容量化し、装置全体を小型化する。【解決手段】 研磨工程排水を遠心分離機4で濃縮する研磨材の回収装置において、遠心分離機4への研磨工程排水の導入と洗浄水貯槽3からの洗浄水の導入とを切り替え、遠心分離機4で洗浄、濃縮を行う。

請求項（抜粋）：

研磨工程排水から研磨材を回収する装置において、固液分離手段と、該固液分離手段に研磨工程排水を導入する手段と、洗浄水貯槽と、前記固液分離手段に該洗浄水貯槽中の洗浄水を導入する手段と、前記固液分離手段への研磨工程排水の導入と洗浄水の導入とを切り替える切り替え手段とを備えてなることを特徴とする研磨材の回収装置。

IPC (4件)：

B24B 55/06 ,  B24B 57/02 ,  C02F 1/38 ,  H01L 21/304 648

FI (4件)：

B24B 55/06 ,  B24B 57/02 ,  C02F 1/38 ,  H01L 21/304 648 F

Fターム (12件)：

3C047GG14 ,  3C047GG17 ,  4D037AA13 ,  4D037AB02 ,  4D037AB11 ,  4D037BA26 ,  4D037BA28 ,  4D037BB01 ,  4D037BB02 ,  4D037BB08 ,  4D037CA03 ,  4D037CA08