特許
J-GLOBAL ID:200903091552088680
差分画像処理を用いた寸法測定法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 英彦 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-066986
公開番号(公開出願番号):特開2000-258145
出願日: 1999年03月12日
公開日(公表日): 2000年09月22日
要約:
【要約】【課題】目標体の寸法を非接触的、あるいは非破壊的に精度良く測定する方法を提供する。【解決手段】差分画像処理によって得られた差分画像上の目標体像の寸法および移動量と、目標体および/または画像検出器の移動量とから、目標体の寸法を測定する。
請求項(抜粋):
差分画像処理によって得られた差分画像上の目標体像の寸法および移動量と、目標体および/または画像検出器の移動量とから、目標体の寸法を測定する方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B 15/00 A
, G06F 15/62 400
Fターム (23件):
2F067AA21
, 2F067BB01
, 2F067BB04
, 2F067HH01
, 2F067HH06
, 2F067HH07
, 2F067HH08
, 2F067HH09
, 2F067JJ01
, 2F067JJ05
, 2F067JJ06
, 2F067JJ07
, 2F067KK06
, 2F067LL16
, 2F067LL17
, 2F067LL18
, 2F067RR40
, 2F067SS13
, 5B057BA03
, 5B057CE02
, 5B057DA07
, 5B057DB02
, 5B057DC32
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