特許
J-GLOBAL ID：200903091555220350
両性組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川口 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-286616
公開番号（公開出願番号）：特開平5-295305
出願日： 1992年10月01日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：
【要約】【構成】 両性ポリマーを含む放射線感受性組成物。そのポリマーは少くとも2個の異なる担体基を含み、それにより酸又は塩基を用いて処理する場合ポリマーがそれぞれ陽性分極又は陰性分極して、組成物が陽極泳動又は陰極泳動のいずれかにより電析できる。【効果】 この両性ポリマーを放射線感受性組成物中に使用することにより、酸又は塩基のいずれの溶液の使用して画像化し、組成物を陰極泳動又は陽極泳動のいずれによって塗布したかとは関係なく析出組成物を除去し得る。本発明の組成物は液体塗膜組成物として製品化し又はドライフィルムレジストを形成するため使用するのも適当である。
請求項（抜粋）：
ポリマーと放射線感受性成分から成り、そのポリマーが陰極泳動担体基と陽極泳動担体基とを含む、陰画作用性の電析し得る放射線感受性組成物。
IPC (9件)：
C09D 5/44 PRG
, C09D 5/44 PRL
, C25D 13/06
, G03F 7/004 512
, G03F 7/004 515
, G03F 7/30
, H05K 3/00
, H05K 3/06
, G03F 7/027
