特許

J-GLOBAL ID：200903091572444881

光学検査方法及びその装置

発明者： 内木 裕
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289966
公開番号（公開出願番号）：特開2003-097931
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】光学系や撮像系に起因する像ずれによる撮像画像データの疑似誤差を補正すること。【解決手段】被写体を撮像して取得した撮像画像データをモニタに表示し、前記被写体の検査を行なう光学検査方法において、規則的なパターンから成る参照パターンの画像データとこの同一の参照パターンを有する被写体を撮像光学系により撮像して取得した撮像画像データとのずれ量を求め、このずれ量に基づいて参照パターンに近似させる画像ずれ補正データを記憶し、被写体を撮像して取得される撮像画像データに対し画像ずれ補正データに従って画像ずれ補正する。

請求項（抜粋）：

被写体を撮像して取得した撮像画像データをモニタに表示し、前記被写体の検査を行なう光学検査方法において、規則的なパターンから成る参照パターンの画像データとこの同一の参照パターンを有する被写体を撮像光学系により撮像して取得した撮像画像データとのずれ量を求め、このずれ量に基づいて前記参照パターンに近似させる画像ずれ補正データを記憶し、前記被写体を撮像して取得される前記撮像画像データに対し前記画像ずれ補正データに従って画像ずれ補正することを特徴とする光学検査方法。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  H04N 7/18

FI (5件)：

G01B 11/30 A ,  G01N 21/88 J ,  H04N 7/18 B ,  H04N 7/18 K ,  G01B 11/24 K

Fターム (36件)：

2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB02 ,  2F065BB15 ,  2F065CC25 ,  2F065EE08 ,  2F065FF42 ,  2F065FF61 ,  2F065GG16 ,  2F065HH12 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL05 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR09 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA03 ,  2G051DA06 ,  2G051EA14 ,  2G051FA01 ,  5C054AA01 ,  5C054FC00 ,  5C054FE13 ,  5C054FE14 ,  5C054GB02 ,  5C054GB12 ,  5C054HA05