特許
J-GLOBAL ID：200903091576824891
共振振動子の測定及びその制御のための装置と方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-566785
公開番号（公開出願番号）：特表2005-517212
出願日： 2003年02月07日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
本発明は、共振振動子の測定のための装置と方法に関する。共振振動子は、継続時間周期(T)で振動軸(2)を中心にして変位するミラー面(8)と、第1ミラー面(8)に測定光(3)を発するレーザダイオード(4)と、を有し、これによって、測定光(3)の光軸(21)は、振動軸(2)と交差する。受光器(6)は、光軸(21)から距離(a)において、また、ミラー面(8)から距離(b)において、第1ミラー面(8)に対向して配置される。偏向測定光(5)は、振動の周期(0、・・・、T/4)の1/4内において、また、この周期の後続の1/4(T/4、・・・、T/2)内において、受光器(6)上を移動する。受光器(6)は、分析回路(11)に接続され、分析回路(11)は、受光器(6)のパルスから時点(t1、t2)を算出し、また、上記から半波内での期間(△t=t2-t1)を算出する。分析回路(11)は、式(1)で最大振幅の実際値を算出する。継続時間△tは、映像画像の連続ラインを書込み時の帰線消去時間に対応する。
請求項（抜粋）：
共振振動子の振幅を測定するための装置であって、
駆動ユニット(14)が振動軸(2)を中心に周期Tで振動させる第1ミラー面(8)を有する共振振動子と、
第1ミラー面(8)に対向して配置され、また、第1ミラー面(8)に測定光(3)を発するレーザダイオード(4)であって、測定光(3)の光軸(21)が、振動軸(2)と交差し、また、共振振動子の第1ミラー面(8)の静止位置を基準にして角度(γ)で延在する前記レーザダイオード(4)と、
受光器が測定光(3)と偏向測定光(5)とによって画成される面内に配置されるように、測定光(3)の光軸(21)から既知の距離”a”において、また、第1ミラー面(8)から既知の距離“b”において、第1ミラー面(8)に対向して配置された第1受光器(6)であって、偏向測定光(5)は、振動の周期の象限(0、・・・、T/4又は0、・・・、π/2)内において、また、この周期の後続の象限(T/4、・・・、T/2又はπ/2、・・・、π)内において、受光器(6)上を移動する前記第1受光器(6)と、が含まれ、
前記受光器(6)は、被照射状態の関数としてパルスを発生する評価電子回路(11)に接続され、
前記パルスは、共振振動子の偏向が、振動の最大振幅(n*2π+π/2;n=0、1、2、3、・・・)でなく、また、振動のゼロ交差(n*π;n=0、1、2、3、・・・)でもない時点(t1、t2、・・・)で生成され、
評価電子回路(11)は、受光器(6)のパルスを用いて、時点(t1、t2)を算出し、また、これらを基に、半波内における2つの時間信号(t1、t2)間の時間間隔△tを△t=t2-t1として算出し、
最大振幅の実際値は、評価電子回路(11)において、式ΦIST=arctan(a/b)/sinπ(1/2-△t/T)に基づき算出される、装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B26/10 104Z
, G01B11/26 Z
2F065AA02
, 2F065AA19
, 2F065AA51
, 2F065BB25
, 2F065DD03
, 2F065FF04
, 2F065FF11
, 2F065FF44
, 2F065GG06
, 2F065LL13
, 2F065LL62
, 2F065NN20
, 2F065PP13
, 2F065PP18
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
, 2F065UU06
, 2G064AA11
, 2G064AB01
, 2G064AB02
, 2G064BA02
, 2G064BC02
, 2G064BC14
, 2G064BC32
, 2G064CC29
, 2H045AB10
, 2H045AB38
, 2H045AB43
出願人引用 (7件)
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米国特許第5,121,138A1号
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ドイツ国特許第100_02_196A1号
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国際特許公開公報第98/13719A1号
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ドイツ国特許第197_09_913_C2号
-
米国特許第3,609,485号
-
米国特許第3,642,344号
-
米国特許第4,044,283号
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審査官引用 (3件)
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