特許
J-GLOBAL ID：200903091588655670
表面性状測定機用検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-049483
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248404
出願日： 1998年03月02日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 非常に小さな測定力を実現し、且つ、測定子も交換可能とする。【解決手段】 可動片18を両端円錐軸80に固定し、該円錐軸80の円柱部外径Dより僅かに大きな内径Iを有し、該円錐軸80の両端と、それぞれ係合する微細な軸穴83が底面に形成された、1対の有底筒状軸受82をフレーム12に取り付け、該軸受82の少なくとも一方を、前記円錐軸80の軸方向に予圧ばね84で押圧する。
請求項（抜粋）：
測定対象面に追従して上下する測定子と、該測定子が先端近傍に配設された可動片と、該可動片を、前記測定子が上下できるように回動自在に支持するフレームとを有し、測定時に検出器を測定子上下方向と直交する方向に移動する表面性状測定機に着脱自在に装着され、前記可動片の変位から測定対象面の変位を知るための表面性状測定機用検出器において、前記可動片に固定される両端円錐軸と、該円錐軸の円柱部外径より僅かに大きな内径を有し、該円錐軸の両端と、それぞれ係合する微細な軸穴が底面に形成された、前記検出器フレームに取付けられる、1対の有底筒状軸受と、該軸受の少なくとも一方を、前記円錐軸の軸方向に押圧する予圧ばねと、を備えたことを特徴とする表面性状測定機用検出器。
IPC (2件)：
G01B 5/28 102
, G01B 21/30 102
G01B 5/28 102 A
, G01B 21/30 102
