結晶中のひずみの測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉浦正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-259480
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229954
出願日： 1993年09月22日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】結晶中のひずみを高精度でしかも簡単に測定し、また高い位置分解能で測定する。【構成】 X線トポグラフィの光学系を用いて試料結晶6の回折X線強度曲線を測定し、その低角側の部分を指数関数で近似し、その関数の逆関数である対数関数を用いてもとの回折X線強度曲線をプロットし直すことによって、X線入射角と回折X線強度の変化との間にリニアな関係をもたせる。そして、このプロット曲線の傾きからX線入射角に対してリニアな回折X線強度の変化の変化率を求め、この変化率を用いて計算により試料結晶6中のひずみの二つの成分(Δd/d、Δα)を求める。ひずみ測定の位置分解能を高めるためには、試料結晶6の後段にX線像拡大用結晶を配置したX線トポグラフィの光学系を用いる。

請求項（抜粋）：

X線トポグラフィの光学系を用いて、ひずみを測定すべき結晶のX線入射角に対する回折X線強度の変化を測定し、上記回折X線強度の変化を選択された関数を用いて近似し、上記選択された関数の逆関数の値を上記X線入射角に対してプロットすることにより得られるプロット曲線の傾きから、上記X線入射角に対してリニアな上記回折X線強度の変化の変化率を求め、上記結晶より得られるX線トポグラフから求められる回折X線強度の場所的変化を上記結晶におけるブラッグ角のずれに変換するようにした結晶中のひずみの測定方法。

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