デュアルビーム同調性分光計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津国肇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-206869
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075640
出願日： 1995年08月14日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【課題】試料を透過する光の計測または試料から反射する光の計測のいずれにも使用することができるデュアルビーム同調性(チューナブル)分光計を提供すること。【解決手段】入射光ビームを発する発光源12と、入射光ビームを受けて基準ビームおよび試料ビームを生成するための音響光学的同調性(チューナブル)フィルタ14を含む生成手段と、基準ビームの少なくとも一部を検出し試料に試料ビームが照射されたのち試料から発される試料ビームの少なくとも一部を検出するための検出器24と、基準ビームの一部を選択的に通過させる第一のシャッタ16と、試料ビームの一部を選択的に通過させる第二のシャッタ18とを含むシャッタ構造であって、第一のシャッタを開き第二のシャッタを閉じて、該検出器に該基準ビームの一部のみを検出させ、また、第一のシャッタを閉じ第二のシャッタを開いて、検出器に試料ビームの一部のみを検出させるシャッタ構造とを設けたこと。

請求項（抜粋）：

入射光ビームを発する発光源と、該入射光ビームを受け、それから基準ビームおよび試料ビームを生成するための、音響光学的同調性フィルタを含む生成手段と、該基準ビームの少なくとも一部を検出し、試料に試料ビームが照射されたのち試料から発される該試料ビームの少なくとも一部を検出するための検出器と、該基準ビームの該一部を選択的に通過させる第一のシャッタと、該試料ビームの該一部を選択的に通過させる第二のシャッタとを含むシャッタ構造であって、該第一のシャッタを開き且つ該第二のシャッタを閉じて、該検出器に該基準ビームの該一部のみを検出させ、また、該第一のシャッタを閉じ且つ該第二のシャッタを開いて、該検出器に該試料ビームの該一部のみを検出させるシャッタ構造とを含むことを特徴とするデュアルビーム同調性分光計。

IPC (2件)：

G01N 21/31 , G01J 3/42

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-151735
特開昭61-221625
特開昭61-059224

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