特許
J-GLOBAL ID：200903091603753292
器機の表面汚染測定器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-131585
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321180
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 被測定対象の表面凹凸に関わりなく付着したパーティクルを確実に測定できる器機の表面汚染測定器を提供することにある。【解決手段】 被測定対象物の近傍からの空気を吸引する吸引手段と、吸引した空気中のパーティクルの量や成分等を測定する測定部と、被測定対象物の表面へ流体を吐出する吐出手段と、被測定対象物の表面に近接配置せしめられるサンプリング部材であって、当該サンプリング部材の周囲に可撓性部材で構成された遮蔽部材が設けられたので、効率よくパーティクルを捕捉する事が出来る。
請求項（抜粋）：
被測定対象物の近傍からの空気を吸引する吸引手段と、吸引した空気中のパーティクルの量や成分等を測定する測定部と、被測定対象物の表面へ流体を吐出する吐出手段と、被測定対象物の表面に近接配置せしめられるサンプリング部材であって、当該サンプリング部材の周囲に可撓性部材で構成された遮蔽部材が設けられたことを特徴とする器機の表面汚染測定器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 1/02 A
, G01N 15/14 A
