特許
J-GLOBAL ID:200903091609164000

光重合性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 酒井 一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-348644
公開番号(公開出願番号):特開平6-202322
出願日: 1992年12月28日
公開日(公表日): 1994年07月22日
要約:
【要約】【構成】 ヒドロキシスチレン単位を有する重合体及び/又は特定の共重合体と、分子鎖中に2個以上の(メタ)アクリル酸エステル基を有する架橋剤と、光重合開始剤とを特定の含有割合で含有する光重合性組成物。【効果】 本発明の光重合性組成物は、ステンレスやガラス基板等に対して接着性が高く、弱アルカリ性水溶液により現像可能であり、良好な画像形成性を有する。また加熱硬化による耐久性、耐アルカリ性にも優れているので、フォトレジストをはじめ、微細な構造が必要とされる製品の材料、保護膜等として極めて有用である。
請求項(抜粋):
ヒドロキシスチレン重合体、ヒドロキシスチレンと、スチレン、メチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレートとの共重合体又はこれらの混合物を全固形分中30〜60重量%と、分子鎖中に2個以上の(メタ)アクリル酸エステル基を有する架橋剤を全固形分中30〜60重量%と、光重合開始剤を全固形分中1〜15重量%とを含有する光重合性組成物。
IPC (8件):
G03F 7/027 ,  C08F 2/48 MDH ,  C08F257/02 MQH ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/28

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