レジスト樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-157465
公開番号（公開出願番号）：特開2003-345009
出願日： 2002年05月30日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】伸び、耐屈曲性が良好で、耐熱性、耐冷熱衝撃性等に優れたレジスト樹脂組成物を得る。【解決手段】多官能性シアン酸エステル成分を分子内に取り込んだ不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂及びビスフェノールA、F型不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂を用い、これに添加剤として、中に弾性を有する球状樹脂の最外層にガラス質又は無機質層を有する多重構造の球状粉体を必須成分として配合してレジスト樹脂組成物とする。更にウレタン変性(メタ)アクリレート樹脂を配合する。【効果】低弾性率で、伸びが大きく、耐屈曲性、耐冷熱衝撃性等に優れたレジスト樹脂組成物が得られた。

請求項（抜粋）：

レジスト樹脂組成物において、(a)エポキシアクリレート100重量部と多官能性シアン酸エステル化合物5〜40重量部との反応生成物に、多塩基酸無水物10〜90重量部を反応させた、酸価40〜200mgKOH/g の不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂、(b)式(1)で示されるエポキシ樹脂【化1】(式中、Rは-CH2-、又は-C(CH3)2- を示し、Zは水素原子、又は【化2】を示し、nは1〜10の数である。但し、nが1の場合はZは水素原子を示す。nが2以上の場合はZは少なくとも1個は水素原子を示す)を用いて得られる不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂、(c)1官能のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、(d)内側の層にゴム弾性を有する樹脂層が存在し、最外層をガラス質樹脂層又は無機質層で被覆された多重構造の球状粉体(e)エチレン性不飽和モノマー、(f)光重合開始剤を必須成分として含有することを特徴とするレジスト樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/027 515 , C08F 2/44 , C08F290/06 , G03F 7/004 501 , H05K 3/00

FI (6件)：

G03F 7/027 515 , C08F 2/44 B , C08F 2/44 C , C08F290/06 , G03F 7/004 501 , H05K 3/00 F

Fターム (31件)：

2H025AA10 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC45 , 2H025BC74 , 2H025BC81 , 2H025CA01 , 2H025CC08 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 4J011PA35 , 4J011PA69 , 4J011PA78 , 4J011PC08 , 4J011QB17 , 4J011RA03 , 4J011RA10 , 4J011TA08 , 4J011UA01 , 4J011WA01 , 4J027AD03 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA21 , 4J027BA22 , 4J027BA29 , 4J027CB10 , 4J027CD10

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