特許
J-GLOBAL ID：200903091617219388
湿度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-224371
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060716
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は、測定精度および応答性が高く長寿命の湿度センサを提供することを目的とする。【構成】 本発明の湿度センサでは、基板1表面に、湿度を検出する湿度検出手段4と、湿度検出手段の周辺温度を検出する第1の温度検出手段3とを配設するとともに、これら湿度検出手段および第1の温度検出手段を囲むように加熱手段2を配設して湿度検出手段および第1の温度検出手段の周辺を局所的に所定温度以上に加熱しつつ測定し、湿度検出手段の出力を、第1の温度検出手段の出力および環境温度を検出する第2の温度検出手段5の出力とに基づいて換算し、測定すべき環境の湿度を検出するようにしている。
請求項（抜粋）：
基板表面に形成され、湿度を検出する湿度検出手段と、前記湿度検出手段に近接して前記基板表面上に配設され、前記湿度検出手段の周辺温度を検出する第1の温度検出手段と、前記湿度検出手段および前記第1の温度検出手段を囲むように前記基板表面に形成され、前記湿度検出手段の周辺を局所的に所定温度以上に加熱する加熱手段とを具備したセンサ本体部と、前記センサ本体部の設置された環境の温度を検出する第2の温度検出手段とを具備し、前記湿度検出手段の出力を、前記第1の温度検出手段の出力と、前記第2の温度検出手段の出力とに基づいて換算し、測定すべき環境の湿度を測定するようにしたことを特徴とする湿度センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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