特許
J-GLOBAL ID：200903091620887723
圧力検出器
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-185629
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030561
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 熱膨張係数の差による測定誤差を発生させず、かつハーメチックシール部の気密性を良好に確保できる圧力検出器を提供する。【解決手段】 金属製ケース12は筒状形状からなる。載置部12cはケース12の一方の端部に内側方向に向かって延長形成される。金属製ダイアフラム9はケース12の他方の端部に配設される。金属製ベース板13は載置部12c上に溶接により配設され、両端部に載置部12cに対応するフランジ部13aを形成する。圧力センサチップ4はダイアフラム9に対向するようにベース板13上に配設される。リードピン6は圧力センサチップ4と電気的に接続し、封着用ガラス5によりベース板13に気密封止される。シリコンオイル(注入部材)8はケース12及びベース板13で構成される空間部内に注入される。溝部12dはケース12の載置部12cとベース板13のフランジ部13aとの接合部近傍の載置部12cの一部に形成される。
請求項（抜粋）：
金属製ベース板上に配設される圧力センサチップと、前記圧力センサチップと電気的に接続されるリードピンと、前記リードピンを前記ベース板に気密的に封止する封着用ガラスと、前記ベース板に固着され、前記圧力センサチップを収納する収納部を形成する筒状の金属製ケースと、前記ケースの開口部に前記圧力センサチップに対向するように配設する金属製ダイアフラムと、前記収納部内に注入される注入部材と、前記ケース及び前記ベース板の少なくとも一方の接合部近傍に形成される溝部と、から構成されることを特徴とする圧力検出器。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, G01L 19/06
G01L 9/04 101
, G01L 19/06 Z
