走査型プローブ顕微鏡とその走査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211419
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033374
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 μm級の微小対象物の観察を行える走査型プローブ顕微鏡で、探針に加わる好ましくない試料表面に平行な力を除き、mm級の広域走査の測定を探針摩耗等の問題を起こすことなく高い再現性、測定精度で行えるようにする。【解決手段】探針14による試料表面の走査を広域的に行わせるXYスキャナ12と、サンプリング位置で探針を試料表面に接近させ、サンプリング位置の間の移動では探針を試料表面から退避させる圧電素子18と、サンプリング位置での測定動作でサーボ制御系に基づき探針と試料表面との間の距離を設定された基準距離に保ち、かつサンプリング位置で探針を試料の表面に接近させ測定動作を行うとき、XYスキャナによる走査移動と同等速度で同方向に伴走用の走査移動を生じさせる圧電素子17を備える。測定箇所が一定間隔で離散的な複数のサンプリング位置として定められ、サンプリング位置で接近・退避動作と伴走動作が行われる。

請求項（抜粋）：

試料の表面に臨む探針と、サンプリング位置での測定動作でサーボ制御系に基づき前記探針と前記試料の表面との間の距離を設定された基準距離に保つサーボ制御手段を備え、前記探針と前記試料の間を前記基準距離に保持しながら前記表面を前記探針で走査して前記表面を測定する走査型プローブ顕微鏡において、前記探針による前記試料の表面の走査を広域的に行わせる移動機構と、前記サンプリング位置で前記探針を前記試料の表面に接近させ、前記サンプリング位置の間の移動では前記探針を前記試料の表面から退避させる接近・退避手段と、前記サンプリング位置で前記探針を前記試料の表面に接近させ測定動作を行うとき、前記探針を前記移動機構による走査移動と同等速度で同方向に伴走させる補助移動機構と、からなることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/10 , G01B 21/30 , G01N 13/16

FI (3件)：

G01N 13/10 Z , G01B 21/30 Z , G01N 13/16 A

Fターム (15件)：

2F069AA60 , 2F069AA66 , 2F069DD20 , 2F069GG01 , 2F069GG07 , 2F069GG62 , 2F069HH05 , 2F069JJ06 , 2F069JJ14 , 2F069JJ22 , 2F069JJ25 , 2F069MM32 , 2F069MM34 , 2F069MM38 , 2F069QQ07

引用特許：

出願人引用 (10件)

特表平1-503733
特開平2-005340
特開平4-369407

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