特許

J-GLOBAL ID：200903091645537034

配線パターン検査方法及びその装置

発明者： 布施 貴史 ,  西山 陽二 ,  高橋 文之 ,  大嶋 美隆 ,  塚原 博之
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-091705
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283929
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、画像のノイズや歪み、位置合わせ誤差等により生ずる欠陥検出を排除することにより、高精度な欠陥検出を行うことを目的とする。【解決手段】配線パターン検査方法は、良品の配線方向に基づいて分割された被検査領域毎に異なる欠陥検出基準を設定し、被検査対象の画像と良品の画像との差分画像から欠陥候補を検出し、欠陥検出基準に基づいて欠陥候補から欠陥検出を行う。

請求項（抜粋）：

被検査対象の画像と、該被検査対象と同型の良品の画像との差分画像から欠陥候補を検出し、該被検査対象と同型の良品の画像の配線方向に基づいて分割された被検査領域と、該被検査領域毎に設定された該配線方向に基づく欠陥検出基準とにより、該欠陥候補から欠陥検出を行うことを特徴とする配線パターン検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/88 645 B ,  G01B 11/30 A ,  H01L 21/66 S

Fターム (39件)：

2F065AA12 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065BB28 ,  2F065CC01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF42 ,  2F065HH02 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL12 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ39 ,  2G051AA51 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA25 ,  2G051EB02 ,  2G051EB09 ,  2G051ED04 ,  2G051ED14 ,  2G051ED15 ,  4M106AA02 ,  4M106CA40 ,  4M106DB04 ,  4M106DB21 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ13 ,  4M106DJ21