特許

J-GLOBAL ID：200903091660900927

微粒子導入装置

発明者： 岩崎 元明 ,  高原 寿雄 ,  谷端 康弘
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-099344
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172749
出願日： 1992年04月20日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】 システムの小型化等を図った微粒子導入装置を提供する。【構成】 マイクロ波誘導プラズマ利用元素分析計のプラズマ発生部に試料を供給する微粒子導入装置において、ティスチャージ管(6)を介して試料を供給するディスパ-サユニット(2)と、前記ティスチャージ管が嵌合してこのティスチャージ管内にマイクロ波でプラズマを誘起するキャビティ(8)を有してマイクロ波誘導プラズスマに供給されて解離した前記試料中の元素を分析するアナライザ(AN)とを一体的に構成したことを特徴とする微粒子導入装置。

請求項（抜粋）：

マイクロ波誘導プラズマ利用元素分析計のプラズマ発生部に試料を供給する微粒子導入装置において、ティスチャージ管(6)を介して試料を供給するディスパ-サユニット(2)と、前記ティスチャージ管が嵌合してこのティスチャージ管内にマイクロ波でプラズマを誘起するキャビティ(8)を有してマイクロ波誘導プラズスマに供給されて解離した前記試料中の元素を分析するアナライザ(AN)とを一体的に構成したことを特徴とする微粒子導入装置。

IPC (2件)：

G01N 21/73 ,  G01N 1/00 101

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-005555
  
• 特開平2-309599
  
• 特開昭56-104237
  
• 特開昭58-010633