反射面の不均一を検出する方法と装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-226627
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178663
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】 IC製造途上のシリコンウェハ上に発生するレジストバーンの検査を自動的に行う検査装置及び方法を提供する。【解決手段】電場発光(EL)パネル22を、実質的に均一な照明光源として配設する。光入射角が適確になるように取付けた電子カメラ18は、ウェハ10の反射表面からの反射光を入射する。電子カメラ22は、反射光の特性をデジタル信号として受光し、各ピクセル毎に光電変換をする。各ピクセルの反射光強度に対応する電気信号は、イメージプロセッサ46によりデータ処理が施され、ウェハ10の反射表面の不均一性の有無が出力される。

請求項（抜粋）：

特定の均一平面であることが望まれる反射面を有する被検査物体を導入する装填機構と、空間的に均一な光を出力し、前記反射面の各ピクセルの反射特性を示す反射イメージを生成するように、前記光を前記反射面に照射するように配置された光源手段と、前記反射イメージを入力し、前記反射面の各ピクセルの反射率に応じた電気信号を生成するイメージ取り込み手段と、前記電気信号に応じて前記反射面の均一性の有無を判定する処理を行う処理手段とを具備することを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 21/88 E , H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-127652
画像検出方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-039786 出願人：ダイキン工業株式会社
特開平1-143904

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