レーザ加工方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-389861
公開番号（公開出願番号）：特開2003-181672
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2003年07月02日
要約：

【要約】【課題】大きな作動距離が確保できて被加工物の深部での加工が行え、かつ高開口数でレーザ光を集光することができて微細加工が可能なレーザ加工法を得ることにある。【解決手段】石英ガラスなどの透明材料からなる被加工物3内部にレーザ光源1からのレーザ光を対物レンズ2を介して集光して入射し加工する際に、被加工物3の上に固体浸漬レンズ5を置き、対物レンズ2からのレーザ光をこの固体浸漬レンズ5を通して被加工物2内部に集光する。レーザ光にはフェムト秒レーザ光が好ましい。

請求項（抜粋）：

透明材料からなる被加工物内部に対物レンズを介してレーザ光を集光して屈折率上昇領域を作製する加工において、被加工物の上に固体浸漬レンズを置き、対物レンズからのレーザ光をこの固体浸漬レンズを通して被加工物内部に集光することを特徴とするレーザ加工方法。

IPC (4件)：

B23K 26/06 , B23K 26/08 , C03B 33/09 , H01S 3/00

FI (5件)：

B23K 26/06 A , B23K 26/06 Z , B23K 26/08 A , C03B 33/09 , H01S 3/00 B

Fターム (10件)：

4E068CA01 , 4E068CA11 , 4E068CD14 , 4E068CE02 , 4E068CE04 , 4G015FA07 , 5F072AB20 , 5F072KK30 , 5F072SS08 , 5F072YY06

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