研磨材組成物及びこれを用いた研磨方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：羽鳥修 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095692
公開番号（公開出願番号）：特開平9-279127
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】研磨対象物、特に、ガラス状炭素等の高硬度を有する脆性材料からなる研磨対象物を低表面粗さに研磨することができ且つ一層高速に研磨し得る研磨材組成物及び研磨方法を提供すること。【解決手段】水と研磨材と研磨促進剤とを含有する本発明の研磨材組成物は、上記研磨促進剤として、下記一般式(a)で表される骨格単位を主とする重量平均分子量500〜100万の重合体化合物1種以上と、単量体型の酸化合物の金属塩1種以上とを用いることを特徴とする。【化1】

請求項（抜粋）：

水と研磨材と研磨促進剤とを含有する研磨材組成物において、上記研磨促進剤として、下記一般式(a)で表される骨格単位を主とする重量平均分子量500〜100万の重合体化合物1種以上と、単量体型の酸化合物の金属塩1種以上とを用いることを特徴とする研磨材組成物。【化1】

IPC (5件)：

C09K 3/14 550 , C09K 3/14 , B24B 37/00 , G11B 5/84 , H01L 21/304 321

FI (5件)：

C09K 3/14 550 Z , C09K 3/14 550 D , B24B 37/00 H , G11B 5/84 A , H01L 21/304 321 P

引用特許：

審査官引用 (3件)

研磨剤組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-097217 出願人：三菱化成株式会社
特開平4-275387
特開平4-122430

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