特許
J-GLOBAL ID：200903091695203072
分岐干渉光導波路型磁界センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-081240
公開番号（公開出願番号）：特開平7-287058
出願日： 1994年04月20日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 感度を向上した光学式磁界センサを提供する。【構成】 分岐干渉光導波路型磁界センサは、磁気複屈折を示す結晶12と、この結晶上に形成された主光導波路13と、結晶12上に形成され、主光導波路より分岐した2つの位相シフト光導波路14,15とを有する。主光導波路13の一端から入射した光波は光導波路13の他端で2つの位相シフト光導波路14,15に分岐し、2つの位相シフト光導波路14,15のそれぞれの端面で反射し、この反射した光波が主光導波路13の他端において結合した後、主光導波路の一端から出射する。2つの位相シフト光導波路14,15にそれぞれ長さの異なるニッケル(Ni)膜17,18を設けた。すなわち、本発明は、反射型の分岐干渉光導波路素子に磁界検出機能を持たせるために、2つの位相シフト光導波路14,15を伝搬する光波に位相差を付与する構成であれば良い。
請求項（抜粋）：
磁気複屈折を示す結晶と、該結晶上に形成された主光導波路と、前記結晶上に形成され、前記主光導波路より分岐した2つの位相シフト光導波路とを有し、前記主光導波路の一端から入射した光波が前記主光導波路の他端で前記2つの位相シフト光導波路に分岐し、前記2つの位相シフト光導波路のそれぞれの端面で反射し、この反射した光波が前記主光導波路の他端において結合した後、前記主光導波路の一端から出射するように構成した分岐干渉光導路型磁界センサにおいて、前記2つの位相シフト光導波路のうち少なくとも一方の近傍に磁性体を設けることを特徴とする分岐干渉光導波路型磁界センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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