特許
J-GLOBAL ID：200903091695929456
ガラス基板への隔壁形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159264
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007519
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】ガラス基板上に隔壁を形成するためのコストを低減し、隔壁幅の微細化を可能とする方法を提供する。【構成】ガラス基板1表面にポジ型感光性ドライフィルム3を貼り、フォトマスク5によりパターンを転写し現像して溝6を形成し、低融点ガラス微粉を主成分とする塗布液2を充填し、紫外光4を照射後にアルカリ水溶液にて残りのドライフィルム3を溶解・除去し、焼成する。
請求項（抜粋）：
ガラス基板表面に隔壁を形成する方法において、フォトリソグラフィー法によって、ガラス基板表面に形成した感光性樹脂層に溝パターンを形成し、低融点ガラス微粉を主成分とする光硬化性の塗布液をその溝に流し込み、光照射によりその塗布液を硬化させ、前記感光性樹脂層を溶解・除去することにより塗布液の硬化物からなる隔壁をガラス基板表面に形成し、ついでこの隔壁を焼成することを特徴とするガラス基板への隔壁形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/24 B
, H01J 9/02 F
