特許

J-GLOBAL ID：200903091700407072

膜形成素材を含む基板の焼成装置

発明者： 島田 正之 ,  小椋 裕
出願人/特許権者： 株式会社ノリタケカンパニーリミテド ,  九州ノリタケ株式会社
代理人 (1件)： 池田 治幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-022301
公開番号（公開出願番号）：特開平10-218669
出願日： 1997年02月05日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：

【要約】【課題】基板内の均一な加熱により膜形成素材を含む基板の歩留まりを高くできる膜形成素材を含む基板の焼成装置を提供する。【解決手段】連続型焼成装置116は、冷却領域内において膜形成素材を含む複数の基板62の搬送方向である一方向に沿って並ぶ複数の加熱室Rの各々の温度を段階的に低くなる設定温度に制御する制御装置168と、その長手方向と垂直且つ互いに平行な軸心回りに回転駆動される複数本のローラ166によって複数の基板62を支持して一方向に搬送する第2搬送装置120と、ローラ166間で複数の加熱室R間を相互に遮蔽する遮蔽角度位置と搬送される基板62との干渉を避ける退避角度位置との間でローラ166の軸心方向と平行な回動軸196の軸心回りに回動させられる平板状の回動シャッタ194を備えたシャッタ装置Sとを含んで構成される。

請求項（抜粋）：

膜形成素材を含む複数の基板を一方向に順次搬送する過程で該複数の基板の各々に均一に熱処理を施すためのトンネル状の焼成装置であって、冷却領域内の長手方向の一部において前記一方向に並んで設けられた複数の加熱区分毎に均熱制御する温度制御装置と、前記複数の基板の各々に前記複数の加熱区分で順次熱処理を施すために、前記長手方向と垂直且つ互いに平行な軸心回りにそれぞれ回転駆動される複数本のローラによって前記複数の基板を支持して前記一方向に搬送する搬送装置と、前記複数本のローラの間で前記複数の加熱区分間を相互に遮蔽する遮蔽角度位置と、前記搬送装置によって搬送される前記複数の基板との干渉を避ける退避角度位置との間で、該複数本のローラの軸心方向と平行な軸心回りに回動させられる平板状の回動シャッタを備えたシャッタ装置とを、含むことを特徴とする膜形成素材を含む基板の焼成装置。

IPC (6件)：

C04B 35/64 ,  B01J 4/00 105 ,  B01J 19/00 ,  F27B 9/12 ,  F27B 9/24 ,  H01L 21/31

FI (6件)：

C04B 35/64 C ,  B01J 4/00 105 B ,  B01J 19/00 K ,  F27B 9/12 ,  F27B 9/24 R ,  H01L 21/31 Z