特許

J-GLOBAL ID：200903091703004904

ポリッシング装置

発明者： 横山 正教 ,  平林 英明
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-264837
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094309
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】 回転ヘッドとこの回転ヘッドを回転駆動させる回転軸の間に生じる抵抗力の軽減を図り、かつ回転駆動時の姿勢が安定して回転ヘッドへの追従性が向上したポリッシング装置を提供すること。【解決手段】 被研磨材33を保持する保持手段22を有し、この保持手段22に保持された被研磨材33を定盤40へ押圧して研磨加工を行うポリッシング装置20において、保持手段22に駆動力を伝達する回転軸21と、回転軸21と保持手段22を連結する軸受手段23と、回転軸21と一体的に設けられ、保持手段22の周方向に対向配置される部分を有する取付部材29と、取付部材29と保持手段22の間に周方向に所定の間隔で設けられ、この取付部材29と保持手段22の間で抗力を与える弾性部材42と、を具備することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

被研磨材を保持する保持手段を有し、被研磨材を定盤に押圧して研磨加工を行うポリッシング装置において、駆動力を伝達する回転軸とこれと一体的に回転駆動する取付部材とを有する第1の駆動力伝達手段と、前記保持手段に一体的に設けられ前記取付部材からの駆動力を前記保持手段に伝達する第2の駆動力伝達手段とを有し、前記取付部材と前記保持手段の間に所定の抗力を与えるべく設けられた弾性部材とを有することを特徴とするポリッシング装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 K

Fターム (11件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058BB03 ,  3C058BC02 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17