特許
J-GLOBAL ID：200903091708592375
ステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-014419
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232021
出願日： 1993年02月01日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 テーブルの駆動による揺れが発生してもテーブルと基盤との間に位置ずれが起こらない、スループットの向上したステージ装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明のステージ装置は、防振装置によって支持された基盤と、該基盤に駆動軸を介してほぼ剛に支持されたテーブルと、該テーブルを基盤上で所定の位置に位置決めするための第1の駆動手段とを備えたステージ装置において、前記第1の駆動手段でテーブルを駆動するときに発生する前記基盤の揺れに起因する前記基盤と前記テーブルとの間の相対的な位置ずれを補正するために、前記基盤の加速度と同じ加速度を前記テーブルに作用させるための第2の駆動手段を備えていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
防振装置によって支持された基盤と、該基盤に駆動軸を介してほぼ剛に支持されたテーブルと、該テーブルを基盤上で所定の位置に位置決めするための第1の駆動手段とを備えたステージ装置において、前記第1の駆動手段でテーブルを駆動するときに発生する前記基盤の揺れに起因する前記基盤と前記テーブルとの間の相対的な位置ずれを補正するために、前記基盤の加速度と同じ加速度を前記テーブルに作用させるための第2の駆動手段を備えていることを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 301 Z
, H01L 21/30 301 M
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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