特許
J-GLOBAL ID:200903091710042536

インターフェログラム積算装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 祐司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-200544
公開番号(公開出願番号):特開平9-026358
出願日: 1995年07月13日
公開日(公表日): 1997年01月28日
要約:
【要約】【構成】 一走査の干渉光を被測定物に照射して得られる単位インターフェログラムを複数積算するインターフェログラム積算装置において、単位インターフェログラム記憶手段14に記憶されたインターフェログラムデータよりセンターバースト位置を検出する最大位置検出手段16と、前記最大位置検出手段16により検出された単位インターフェログラムのセンターバースト位置を基準として、該単位インターフェログラムの位置軸上で両側にそれぞれ予め定められた所定量づつ切り取り、切取インターフェログラムを採取する切取手段18と、複数の単位インターフェログラムに対応して順次得られる複数の切取インターフェログラムを積算する積算手段20と、を備えたことを特徴とするインターフェログラム積算装置。【効果】 切取手段により整形された単位インターフェログラムについて積算処理を行うこととしたので、演算処理の負担を大幅に軽減することができる。
請求項(抜粋):
一走査の干渉光を被測定物に照射して得られる単位インターフェログラムを複数積算するインターフェログラム積算装置において、前記単位インターフェログラムを一時的に記憶する単位インターフェログラム記憶手段と、前記単位インターフェログラム記憶手段に記憶された単位インターフェログラムデータよりセンターバースト位置を検出する最大位置検出手段と、前記最大位置検出手段により検出された単位インターフェログラムのセンターバースト位置を基準として、該単位インターフェログラムの位置軸上で両側にそれぞれ予め定められた所定量づつ切り取り、切取インターフェログラムを採取する切取手段と、複数の単位インターフェログラムに対応して順次得られる複数の切取インターフェログラムを積算する積算手段と、を備えたことを特徴とするインターフェログラム積算装置。

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