特許
J-GLOBAL ID：200903091721754333
半導体加速度センサの故障検出回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永田 良昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087760
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249141
出願日： 1992年03月10日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】この発明は、半導体加速度センサの梁部が破損したとき、加速度信号の出力が確実にGNDに落すことで、その故障を確実検出することのできる半導体加速度センサの故障検出回路の提供を目的とする。【構成】半導体基板をエッチングにより周囲の支持部に対して中央の可動部を弾性を有する梁部で支持して形成し、上記梁部に歪みゲージを設けて、この歪みゲージを利用し抵抗器でブリッジ回路を形成し、このブリッジ回路の出力をアンプ回路を介して加速度信号として取出す半導体加速度センサであって、前記ブリッジ回路とアンプ回路との間に温度補償用の抵抗を介装し、この抵抗をダイオードを介しコンパレータに接続して、該コンパレータを前記アンプ回路の出力側に接続することで、梁部が破損してブリッジ回路からの信号がなくなると、温度補償用の抵抗の介装でアンプ回路の入力側が異常に高い電圧となり、これをコンパレータが検出してアンプ回路の出力を強制的にGNDレベルに落す。
請求項（抜粋）：
半導体基板をエッチングにより周囲の支持部に対して中央の可動部を弾性を有する梁部で支持して形成し、上記梁部に歪みゲージを設けて、この歪みゲージを利用し抵抗器でブリッジ回路を形成し、このブリッジ回路の出力をアンプ回路を介して加速度信号として取出す半導体加速度センサであって、前記ブリッジ回路が破損したとき、該ブリッジ回路の正常時より高い電圧を出力する回路を上記アンプ回路の入力側に介装すると共に、該回路をダイオードを介しコンパレータに接続して、該コンパレータで基準値と比較し、この比較出力を前記アンプ回路の出力側に接続した半導体加速度センサの故障検出回路。
IPC (2件)：
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