特許

J-GLOBAL ID：200903091722541341

洗浄液清浄度制御装置

発明者： 安田 純一 ,  加藤 治夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-229350
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067603
出願日： 1991年09月10日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】 洗浄液清浄度制御装置において、洗浄槽内の洗浄液を高い清浄度に制御し、洗浄性および歩留りを向上させる。【構成】 洗浄液清浄度制御装置において、清浄度センサ12により洗浄槽1内の洗浄液の清浄度を検出し、この検出した清浄度検出信号に基づき、前記洗浄液供給用電磁弁3および洗浄液排出用電磁弁6の開閉駆動を指令し、洗浄槽1内の洗浄液の清浄度を制御する構造とした。

請求項（抜粋）：

洗浄槽に新たな洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記洗浄槽内の洗浄液を排出する洗浄液排出手段と、前記洗浄槽内の洗浄液の清浄度を検出する清浄度検出手段と、この清浄度検出手段からの清浄度検出信号に基づき、前記洗浄液供給手段および洗浄液排出手段の駆動を指令し、洗浄槽内の洗浄液の清浄度を制御する清浄度制御手段とを備えたことを特徴とする洗浄液清浄度制御装置。