特許
J-GLOBAL ID:200903091728711311

赤外線検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 河▲崎▼ 眞樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-338134
公開番号(公開出願番号):特開平9-152403
出願日: 1995年11月30日
公開日(公表日): 1997年06月10日
要約:
【要約】【課題】 長時間加圧状態であっても経時変化せず、また組立後の再現性も得やすい赤外線検出器を提供する。【解決手段】 赤外線検出器として、本体1には赤外線を入射させる一対のガス室2b等が設けられると共に、この一対のガス室とは別個の検出ガス室3が設けられ、ガス室2b等と検出ガス室3とを連通させるガス通路5等が形成される。前記二つのガス通路間を遮断する振動膜10がその全周縁部を両面から支持されて検出ガス室3に固定される。振動膜10で遮断された前記二つのガス通路を互いに連通させて前記一対のガス室のそれぞれに封入されたガスをスロ-リ-クさせるためのスロ-リ-クシ-トとして電気絶縁とガスリ-ク制御機能を備えた一枚のセラミック製スロ-リ-クシ-ト6を用いた構成とする。
請求項(抜粋):
赤外線を入射させる一対のガス室が本体に設けられると共に、この一対のガス室とは別個の検出ガス室が設けられ、前記一対のガス室と前記検出ガス室とを各々連通させるガス通路が形成され、前記二つのガス通路間を遮断する振動膜がその全周縁部を両面から支持して前記検出ガス室に固定され、前記振動膜の全周縁部を一側で電気絶縁支持し且つガスリ-ク制御用溝を形成したリング状の二枚のスロ-リ-クシ-トを設けて前記振動膜で遮断された前記二つのガス通路を互いに連通させて前記一対のガス室のそれぞれに封入されたガスをスロ-リ-クさせるように構成した赤外線検出器において、前記振動膜の一側全周縁部に接触支持させたリング状のスロ-リ-クシ-トを一枚のセラミック材で製作したことを特徴とする赤外線検出器。
IPC (2件):
G01N 21/61 ,  G01N 21/35
FI (2件):
G01N 21/61 ,  G01N 21/35 Z

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