特許
J-GLOBAL ID：200903091736903130
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295038
公開番号（公開出願番号）：特開平6-150861
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【構成】 プラズマを生成するプラズマ生成室部5と、プラズマ生成室部5からの引出電流を測定して引出電流測定信号を出力する引出電流測定部17と、引出電流測定信号を用いて引出電流をフィードバック制御するマイクロ波出力部3とを有している。そして、プラズマ生成室部5と引出電流測定部17とマイクロ波出力部3とは、同電位にされている。【効果】 プラズマ生成室部5と引出電流測定部17とが同電位にされているため、引出電流測定部17とマイクロ波出力部3とを絶縁状態にする必要がない。よって、引出電流測定信号から得られるマイクロ波電力設定信号を直接的に引出電流測定部17からマイクロ波出力部3に入力することができるため、引出電流測定信号の伝送に要する回路構成が簡単化し、フィードバック制御の信頼性が向上したものになる。
請求項（抜粋）：
引出電流のフィードバック制御によって、プラズマ中からイオンビームを任意のビーム量で生成するイオン源において、上記プラズマを生成するプラズマ生成室部と、上記プラズマ生成室部からの引出電流を測定して引出電流測定信号を出力する引出電流測定手段と、上記引出電流測定信号を用いて引出電流をフィードバック制御する引出電流制御手段とを有し、上記プラズマ生成室部と引出電流測定手段と引出電流制御手段とが同電位にされていることを特徴とするイオン源。
IPC (4件)：
H01J 37/08
, H01J 27/18
, H01J 37/04
, H01J 37/317
