特許
J-GLOBAL ID：200903091738052430
誘電体作製方法およびコンデンサ作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258236
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097286
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 膜厚が薄く比誘電率が大きい誘電体を作製する。【解決手段】 BaTiO3 粉体を感光性エポキシ樹脂溶液に混合したペースト状の混合体3を基板1表面の下部電極2上に印刷する(a)。印刷された混合体3の膜厚は例えば約50[μm]である。印刷された混合体3を室温で約1時間保持し、BaTiO3 粉体を下部電極2表面に沈殿させ、沈殿層3aを形成する。沈殿層3a上には樹脂層3bが形成される。次に約80[°C]で約30分間加熱し、混合体3を乾燥させる(b)。次に樹脂層3b側から紫外線を照射し、樹脂層3bのエポキシ樹脂を感光させ(BaTiO3 粉体により沈殿層3aのエポキシ樹脂は感光しない)、感光した樹脂層3bを現像し、これを除去する。このあと、約150[°C]で約30分加熱し、コンデンサの誘電体4となる沈殿層3aを硬化させる((c)、(d))。
請求項（抜粋）：
樹脂にセラミック質粉体を混合してなる誘電体の作製方法において、セラミック質粉体を樹脂溶液に混合した混合体中に前記セラミック質粉体を沈殿させることにより、前記誘電体となる沈殿層を形成する工程と、前記沈殿層上の樹脂層を除去する工程とを含むことを特徴とする誘電体作製方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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