特許
J-GLOBAL ID:200903091740065999
走査型共焦点光学装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-140210
公開番号(公開出願番号):特開2000-329690
出願日: 1999年05月20日
公開日(公表日): 2000年11月30日
要約:
【要約】【課題】反射率が低い生体等の被写体をも高いS/Nで観察できる光走査型共焦点光学装置を提供する。【解決手段】光走査型共焦点光学装置は光源部112と光伝達部114と光走査部116と偏光面変調素子118と偏光分離素子120と光検出部122とデータ処理部124とを備えている。偏光面変調素子118は、例えばλ/4板であり、光走査部116の前方に配置されている。被検面126からの戻り光は、λ/4板118を2回通過するため、光ファイバー136の端面142から射出される直線偏光に対して偏光面が90度回転した直線偏光となる。偏光分離素子120は、例えば直線偏光子であり、光ファイバー138と光検出部122の間に配置され、光ファイバー136の端面142から射出される直線偏光の偏光面に対して直交する偏光面を持つ光のみを選択的に透過する。
請求項(抜粋):
光を射出する光源と、前記光源からの光を被検面上に集光して走査する光走査部であって、光走査部は、少なくとも一つの走査ミラーを含む少なくとも二つの反射面と、光を被検面上に集光させる集光レンズとを有している、光走査部と、前記光源と前記光走査部の間に位置する共焦点ピンホールであって、この共焦点ピンホールは実質的な点光源とみなされ、共焦点ピンホールと前記被検面との間に共焦点光学系が構成される、共焦点ピンホールと、被検面からの戻り光とその他の戻り光との間に相対的な偏光状態の違いを与える偏光面変調素子と、偏光状態の違いに基づいて被検面からの戻り光を選択的に取り出す偏光分離素子と、前記偏光分離素子によって取り出された戻り光を検出する光検出部と、前記光源からの光を前記光走査部に伝えると共に前記光走査部からの光を前記光検出部に伝える光伝達部とを有している、走査型共焦点光学装置。
IPC (4件):
G01N 21/21
, G01B 11/30
, G01N 21/64
, G02B 21/00
FI (4件):
G01N 21/21 Z
, G01B 11/30 A
, G01N 21/64 Z
, G02B 21/00
Fターム (49件):
2F065AA49
, 2F065AA51
, 2F065CC16
, 2F065DD04
, 2F065FF41
, 2F065FF49
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065JJ01
, 2F065LL02
, 2F065LL13
, 2F065LL30
, 2F065LL33
, 2F065LL34
, 2F065LL36
, 2F065LL62
, 2F065MM16
, 2F065MM26
, 2F065MM28
, 2G043AA03
, 2G043BA17
, 2G043EA01
, 2G043FA02
, 2G043HA05
, 2G043HA15
, 2G043KA02
, 2G043LA03
, 2G043LA05
, 2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059BB14
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059FF03
, 2G059JJ17
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059KK04
, 2G059KK07
, 2G059LL10
, 2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AB30
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC19
, 2H052AC26
, 2H052AC27
, 2H052AC34
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