光重合性組成物およびこの組成物を使用して調製した光重合性記録材料

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-244382
公開番号（公開出願番号）：特開平6-067427
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】本発明は、重合体結合剤、フリーラジカルにより重合することができ、少なくとも一つの末端エチレン性二重結合を有する化合物、およびN-複素環式化合物、式Iのチオキサントン誘導体、【化1】および式IIおよびIII の内の一つのジアルキルアミノ化合物【化2】【化3】(式中、R1 、R2 、R3 およびR4 は水素またはハロゲン原子またはアルキル、アルコキシ、カルボキシル、アルコキシカルボニルまたはアリールオキシカルボニル基を表し、R5 、R6 、R9 およびR10はアルキル基を表し、R7 はアルキルまたはアルコキシアルキル基を表し、R8 はアルキレン基を表す。)からなる光反応開始剤の組合わせを含む光重合性組成物を開示する。この組成物は感光性が高く、垂直側壁を有するフォトレジストステンシルを形成する。

請求項（抜粋）：

必須成分として、a)重合体結合剤、b)フリーラジカルにより重合することができ、少なくとも一つの末端エチレン性二重結合を有する化合物、およびc)光反応開始剤として作用するN-複素環式化合物を含む光重合性組成物であって、この組成物が、さらにd)式Iのチオキサントン誘導体、【化1】およびe)式IIおよびIII の内の一つのジアルキルアミノ化合物【化2】【化3】(式中、R1 、R2 、R3 およびR4 は水素またはハロゲン原子またはアルキル、アルコキシ、カルボキシル、アルコキシカルボニルまたはアリールオキシカルボニル基を表し、R5 、R6 、R9 およびR10はアルキル基を表し、R7 はアルキルまたはアルコキシアルキル基を表し、R8 はアルキレン基を表す。)からなる他の光反応開始剤成分を含むことを特徴とする組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/028 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 , G03F 7/032 , G03F 7/038 505 , H01L 21/027 , H05K 3/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-062545
特開平2-067558
特開昭64-035438

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