特許

J-GLOBAL ID：200903091747065684

差動排気シール装置

発明者： 篠崎 弘行
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-326738
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130229
出願日： 2001年10月24日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】 差動排気シール機構の停止した時又は停止している時でも該差動排気シール機構でシールされている空間を停止前の状態、例えば清浄空間を清浄状態に維持できる差動排気シール装置を提供すること。【解決手段】 第1の空間である清浄空間領域1と第2の空間である大気領域2とを非接触状態でシールする差動排気シール機構5を備えた差動排気シール装置において、第1の空間である清浄空間領域1と第2の空間である大気領域2の間を接触状態でシールする非定常時シール機構7を設け、該非定常時シール機構7は差動排気シール機構5が停止した時又は停止している時のみ作動し第1の空間である清浄空間領域1と第2の空間である大気領域2とをシールする。

請求項（抜粋）：

第1の空間と第2の空間とを非接触状態でシールする差動排気シール機構を備えた差動排気シール装置において、前記第1の空間と第2の空間の間を接触状態でシールする非定常時シール機構を設け、該非定常時シール機構は前記差動排気シール機構が停止した時又は停止している時のみ作動し前記第1の空間と第2の空間とをシールすることを特徴とする差動排気シール装置。

IPC (3件)：

F16J 15/18 ,  F16C 29/00 ,  F16C 32/06

FI (4件)：

F16J 15/18 A ,  F16C 29/00 ,  F16C 32/06 A ,  F16C 32/06 Z

Fターム (30件)：

3J043AA11 ,  3J043BA09 ,  3J043CA02 ,  3J043CB13 ,  3J043CB14 ,  3J043DA08 ,  3J043HA04 ,  3J102AA02 ,  3J102BA02 ,  3J102BA05 ,  3J102BA17 ,  3J102CA05 ,  3J102CA36 ,  3J102EA01 ,  3J102EA06 ,  3J102EA09 ,  3J102EA24 ,  3J102EB07 ,  3J102FA27 ,  3J102GA19 ,  3J104AA52 ,  3J104AA63 ,  3J104AA69 ,  3J104AA74 ,  3J104AA75 ,  3J104AA76 ,  3J104BA62 ,  3J104CA13 ,  3J104DA04 ,  3J104EA10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-057721