特許
J-GLOBAL ID：200903091748785320
メルト深さ検出装置および方法並びに結晶成長長さ検出装置および方法並びに結晶体の製造装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-261215
公開番号（公開出願番号）：特開2000-086385
出願日： 1998年09月16日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】所望の形状や品質を有する結晶体の製造に有効なメルト深さ検出装置および方法並びに結晶成長長さ検出装置および方法並びに結晶体の製造装置および方法を提供する。【解決手段】本発明の特徴は、結晶体の製造装置におけるシードと、ルツボと、メルトの位置関係を利用することにある。即ち、シード上昇高さ検出手段30がシードの上昇量を検出し、ルツボ上昇高さ検出手段32がルツボの上昇量を検出し、メルト下降深さ検出手段34がメルトの下降深さを検出する。結晶成長長さ算出手段36は、これらの検出結果を利用して、結晶体が実際に成長した長さを算出する。
請求項（抜粋）：
ルツボ(200)内にチャージされたメルト(202)にシード(204)を浸漬し、該浸漬したシード(204)を引き上げて結晶体(206)を成長させながら、前記ルツボ(200)内に残ったメルト(202)の深さを検出するメルト深さ検出装置において、前記ルツボ(200)の形状を複数の区間に分割して記憶するとともに、該分割した形状でチャージできる前記メルト(202)の重量を該区間ごとに記憶するルツボ形状テーブル(10)と、前記ルツボ(200)内に最初にチャージした前記メルト(202)の総重量を記憶するメルト初期重量記憶手段(12)と、前記結晶体(206)が成長した重量を検出する結晶成長重量検出手段(14)と、前記メルト初期重量記憶手段(12)が記憶したメルト初期重量(MIW)と前記結晶成長重量検出手段(14)が検出した結晶成長重量(GW)とを用いて、前記ルツボ(200)内に残ったメルト(202)の重量を算出するメルト重量算出手段(16)と、前記メルト重量算出手段(16)が算出したメルト重量(MW)が前記ルツボ形状テーブル(10)のどの区間に該当するのかを判定する該当区間判定手段(20)と、前記該当区間判定手段(20)が判定した判定区間に記憶されたルツボの形状に基づいて、前記ルツボ(200)内に残ったメルト(202)の深さを決定するメルト深さ決定手段(22)とを具備することを特徴とするメルト深さ検出装置。
IPC (3件)：
C30B 15/28
, G05D 9/00
, G06F 17/40
C30B 15/28
, G05D 9/00 A
, G06F 15/74 310 B
, G06F 15/74 330 D
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG12
, 4G077EG30
, 4G077EH04
, 4G077EH10
, 4G077EJ02
, 5H309AA01
, 5H309AA20
, 5H309BB01
, 5H309BB03
, 5H309CC02
, 5H309CC06
, 5H309CC09
, 5H309CC12
, 5H309CC13
, 5H309CC20
, 5H309DD02
, 5H309DD16
, 5H309DD27
, 5H309DD32
, 5H309DD33
, 5H309DD40
, 5H309EE01
, 5H309EE04
, 5H309EE07
, 5H309EE08
, 5H309EE10
, 5H309FF11
, 5H309FF15
, 5H309FF20
, 5H309GG04
, 5H309HH01
, 5H309HH02
, 5H309HH04
, 5H309HH12
, 5H309KK04
