特許

J-GLOBAL ID：200903091749161435

強誘電体薄膜形成用塗布溶液および強誘電体薄膜

発明者： 池田 憲彦 ,  篠田 智隆 ,  小松 敏 ,  山田 欣司
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-265047
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077910
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】 白金、イリジウム、酸化イリジウムなどの基板上に1回の塗布焼成でクラックの無い均一な強誘電体膜を形成するための強誘電体薄膜形成用塗布溶液を得る。【解決手段】 下記一般式(1)で表される溶剤R1O(CHCH3CH2O)2R2 ・・・・・(1)(R1およびR2は、それぞれ独立して水素原子、炭素数1〜4のアルキル基またはCH3CO-から選ばれる1価の有機基を表す。)および有機金属化合物を含有することを特徴とする強誘電体薄膜形成用塗布溶液。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される溶剤R1O(CHCH3CH2O)2R2 ・・・・・(1)(R1およびR2は、それぞれ独立して水素原子、炭素数1〜4のアルキル基またはCH3CO-から選ばれる1価の有機基を表す。)および有機金属化合物を含有することを特徴とする強誘電体薄膜形成用塗布溶液。

IPC (2件)：

H01L 21/316 ,  H01L 27/105

FI (2件)：

H01L 21/316 G ,  H01L 27/10 444 C

Fターム (10件)：

5F058BA11 ,  5F058BA20 ,  5F058BC20 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ01 ,  5F083FR00 ,  5F083JA06 ,  5F083JA12 ,  5F083PR23