特許
J-GLOBAL ID：200903091750325123
走査型投影装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-294525
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118341
出願日： 1991年11月11日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 広いフィールドを有し、高解像力で投影する屈折光学系の走査型投影装置を提供することである。【構成】被投影物を所定の走査幅で走査することによって投影する走査型投影装置であって、被投影物を上記走査幅の中心線上に中心を有する円弧状領域に照明する照明部と、光軸上に中心を有する円弧状領域の収差が補正され、上記照明部によって円弧状に照明された被投影物の像を像面内に形成する屈折投影光学系と、上記被投影物及び上記像面に配置された受光部材と、上記照明部及び上記投影光学部とを相対的に移動させる駆動装置とを有する走査型投影装置である。
請求項（抜粋）：
被投影物を所定の走査幅で走査することによって投影する走査型投影装置において、被投影物を上記走査幅の中心線上に中心を有する円弧状領域に照明する照明部と、光軸上に中心を有する円弧状領域の収差が補正され、上記照明部によって円弧状に照明された被投影物の像を像面内に形成する屈折投影光学系と、上記被投影物及び上記像面に配置された受光部材と、上記照明部及び上記投影光学部とを相対的に移動させる駆動装置とを有することを特徴とする走査型投影装置。
IPC (3件)：
G02B 27/18
, G02B 13/22
, G02B 26/10
