特許
J-GLOBAL ID：200903091753857029
ガス濃度測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅沼 徹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-095745
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280729
出願日： 1994年04月08日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 半導体レーザダイオードから発振されるレーザ光を用いてガス状化学物質の濃度を測定するガス濃度測定装置において、頻繁な波長調整等の煩雑な作業を要することなく一定の波長のレーザ光を発振できるようにして、高感度、かつ、高能率でガス濃度の測定ができるようにした。【構成】 光源1から発振されるレーザ光の波長に対して変調を与えるための変調信号と標準ガス6を透過したレザー光の受光信号とにより奇数倍検波信号を発生する第2位相敏感検波装置8aを設け、この装置8aから出力される奇数次微分検波信号を制御信号に変換して光源1へフィーバック制御信号として加えることによってレザー光の波長を常時目標波長に固定する。そして、測定対象ガス5を透過したレザー光の受光信号と変調信号とにより第1位相敏感検波装置8から偶数倍検波信号を出力するようにして高感度のガス濃度測定を可能とする。
請求項（抜粋）：
レーザ光を発振する光源と、この光源を駆動するための電流を発生する手段と、上記光源から発振され測定対象ガスを透過したレーザ光を受光してそれに対応する受光信号を発信する第1受光装置とを具えたガス濃度測定装置において、上記光源から発振され標準ガスを透過したレーザ光を受光してそれに対応する受光信号を発信する第2受光装置と、上記光源から発振されるレーザ光の波長に変調を与えるための変調信号を発生する第2波形発生器と、この第2波形発生器から発生した変調信号と上記第2受光装置から発信された受光信号を受信して奇数倍検波信号を出力する第2位相敏感検波装置と、この第2位相敏感検波装置から出力された奇数次微分検波信号を制御信号に変換して上記光源にフィードバックする手段と、上記第1受光装置から発信された受光信号と上記第2波形発生器から発生した変調信号を受信して偶数次微分検波信号を出力する第1位相敏感検波装置を備えることを特徴とするガス濃度測定装置。
引用特許：
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