特許

J-GLOBAL ID：200903091763335047

フッ化物ガラス導波路の製造方法

発明者： 坂口 茂樹
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-020288
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215930
出願日： 1992年02月05日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【構成】 基板3上に、耐熱性樹脂からなる樹脂層4を形成し、この樹脂層4上にリソグラフィにより回路パターンを転写し、反応性イオンエッチングによってパターンを形成したものを導波路形成用のモールド5として用いる。【効果】 正確な矩形断面を有するフッ化物ガラス導波路を作製することができる。さらに作製されたフッ化物ガラス導波路の形状寸法精度は方向性結合器や合分波器、光増幅器やレーザ等の光回路作製に十分対応できるものである。

請求項（抜粋）：

基板上に耐熱性樹脂からなる樹脂層を形成し、この樹脂層上にリソグラフィと反応性イオンエッチングを施し、導波路形成用パターンを形成し、これを導波路形成用のモールドとして用いることを特徴とするフッ化物ガラス導波路の製造方法。