特許

J-GLOBAL ID：200903091765750050

フルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法

発明者： 北原 宏一 ,  大塚 健二 ,  名和 洋二 ,  池田 友久 ,  越智 幸史
出願人/特許権者： 日本パイオニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-270367
公開番号（公開出願番号）：特開2003-071244
出願日： 2001年09月06日
公開日（公表日）： 2003年03月11日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造工程等から排出される排ガスに含まれるCF4等のフルオロカーボンを、短時間で分解処理剤が失活することなく、またフッ化水素等の腐食性ガスを排出させることなく、1000°C以下の比較的低い温度で99.9%以上の分解率で分解可能な分解処理剤及び分解処理方法を提供する。【解決手段】 酸化アルミニウム及びリチウム化合物を有効成分として含む分解処理剤とする。また、加熱下で、酸化アルミニウム及び酸化リチウムと接触させてフルオロカーボンを分解する。あるいは、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤及び酸化リチウムを有効成分として含む処理剤と交互に接触させてフルオロカーボンを分解する。

請求項（抜粋）：

酸化アルミニウム及びリチウム化合物を有効成分として含むことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理剤。

IPC (4件)：

B01D 53/70 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01J 23/04 ,  C09K 3/00

FI (4件)：

B01J 23/04 A ,  C09K 3/00 S ,  B01D 53/34 134 E ,  B01D 53/34 ZAB

Fターム (29件)：

4D002AA22 ,  4D002AC10 ,  4D002BA12 ,  4D002BA20 ,  4D002CA07 ,  4D002DA01 ,  4D002DA08 ,  4D002DA11 ,  4D002DA12 ,  4D002DA16 ,  4D002EA03 ,  4D002GA01 ,  4D002GB03 ,  4D002HA08 ,  4G069AA02 ,  4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069BA01A ,  4G069BA01B ,  4G069BB06A ,  4G069BB06B ,  4G069BC04A ,  4G069BC04B ,  4G069CA02 ,  4G069CA10 ,  4G069CA19 ,  4G069DA06 ,  4G069EA02Y ,  4G069FB64