特許
J-GLOBAL ID：200903091766344420
インクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-172619
公開番号（公開出願番号）：特開平9-020007
出願日： 1995年07月07日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【構成】 圧力室の少なくとも一方の壁を構成する振動板6を、セラミックスまたはセラミックスと金属の組み合わせとして薄膜形成技術により加工し、振動板6を静電気力により変形させるための電極11とのギャップ間にギャップスペーサとして金属または半導体の薄膜9を形成して、構成部材1・2・3間を陽極接合法により接合する。【効果】 ギャップ部の寸法精度が高いことにより、印字品質が優れたインクジェットヘッドを提供する。
請求項（抜粋）：
インクを吐出するための単一または複数のノズルと、該ノズルのそれぞれに対応する圧力室と、該圧力室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段とを備えるインクジェットヘッドにおいて、前記振動板がセラミックスまたはセラミックスと金属の組み合わせからなることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
