特許
J-GLOBAL ID：200903091774475487
半導体製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-292429
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130638
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 基板保持手段の装置からの脱着を極力無くし、基板保持手段と基板保持手段固定部材との間に異物を挟み込んだりする危険性を回避すると共に、クリーニング作業による装置の休止時間を極力少なくする。【構成】 半導体基板搬送手段7、基板保持手段9、および、XYステージ8を備えた半導体製造装置において、半導体基板搬送手段は、下面にクリーニング機能が施された前記基板保持手段のクリーニング用の基板15を所定位置に搬送して、ほぼ水平面内で固定し、かつ前記クリーニング用基板に作用する水平方向の力を検出する機能19を有するものであり、XYステージは、前記クリーニング用基板の下に前記基板保持手段を移動させ、前記基板保持手段の表面と前記クリーニング用基板の下面とが一定の圧力で接触するように前記基板保持手段を上下移動させ、そして前記基板保持手段をその表面が前記クリーニング用基板によってクリーニングされるようにほぼ水平面内で所定の運動を行うように移動させるものである。
請求項（抜粋）：
半導体基板を搬送し、所定の位置に載置するための半導体基板搬送手段、これによって搬送され載置される半導体基板を吸着し固定する基板保持手段、および、この基板保持手段を所定の位置に移動するXYステージを備えた半導体製造装置において、半導体基板搬送手段は、下面にクリーニング機能が施された前記基板保持手段のクリーニング用の基板を所定位置に搬送して、水平面内で固定し、あるいは前記基板保持手段の表面と平行になるように固定し、かつ前記クリーニング用基板に作用する水平方向の力を検出する機能を有するものであり、XYステージは、前記半導体基板搬送手段によって固定された前記クリーニング用基板の下に前記基板保持手段を移動させ、前記基板保持手段の表面と前記クリーニング用基板の下面とが一定の圧力で接触するように前記基板保持手段を上下移動させ、そして前記基板保持手段をその表面が前記クリーニング用基板によってクリーニングされるように水平面内あるいは前記基板保持手段の表面と平行な面内で所定の運動を行うように移動させるものであることを特徴とする半導体製造装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, H01L 21/304 341
, H01L 21/66
, H01L 21/68
